濺射法利用帶有電荷的離子在電場中加速后具有一定動能的特點，將離子引向欲被濺射的物質(zhì)做成的靶電極。在離子能量合適的情況下，入射離子在與靶表面原子的碰撞過程中將后者濺射出來。這些被濺射出來的原子帶有一定的動能，并且會沿著一定的方向射向襯底——玻璃基板，從而沉積在基板表面形成薄膜。

?在上述薄膜沉積的過程中，離子的產(chǎn)生過程與等離子體的產(chǎn)生或氣體的放電現(xiàn)象密切相關(guān)。?