跟著節(jié)能減排政策的建議，人們對低輻射鍍膜玻璃提出更高的要求。普通用于出產(chǎn)鍍膜玻璃的鍍膜段出產(chǎn)的產(chǎn)物已經(jīng)不能滿意人們提出的更高要求。大面積磁控濺射鍍膜出產(chǎn)線包括很多構(gòu)成部門，中岳鈦金，個中焦點區(qū)域是鍍膜高真空區(qū)的工藝部署，即鍍膜段。現(xiàn)有技能中存在真空情況差、冷卻結(jié)果低會嚴重影響制備的膜層質(zhì)量。

　　提供一種真空鍍膜系統(tǒng)，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真白手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下舉辦樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與真白手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全關(guān)閉建造，使整個薄膜發(fā)展和器件制備進程高度集成在一個完整的可控情況氣氛的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備進程中大氣情況中不不變因素影響，保障了高機能、大面積有機光電器件和電路的制備。

　　真空鍍膜系統(tǒng)主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等嘗試研究與應(yīng)用。