真空鍍膜設(shè)備主要是指一種需要在高真空度下進(jìn)行的鍍膜，包括很多種，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等等。主要思想是將其分為蒸發(fā)和濺射。

需要鍍膜的就成了基材，鍍的材料就成了靶材。襯底和靶一起在真空室中。

蒸發(fā)鍍膜一般是將靶材加熱，使表面成分以原子團(tuán)或離子的形式蒸發(fā)，并沉積在基片表面。通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-雜散結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。對(duì)于濺射鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為用電子或激光轟擊靶材，表面成分以原子團(tuán)或離子的形式濺射出來(lái)，終沉積在基片表面，經(jīng)過(guò)成膜的過(guò)程，終形成薄膜。

真空鍍膜設(shè)備維護(hù)技巧

1.真空鍍膜設(shè)備200多道涂裝工序完成后，工作室要打掃一次。方法是:用苛性鈉飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁(注意人體皮膚不要直接接觸苛性鈉溶液，以免灼傷)。目的是使鍍膜材料鋁與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后薄膜會(huì)脫落并釋放出氫氣。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布清洗細(xì)抽閥內(nèi)的污垢。

2.當(dāng)?shù)驼婵毡?滑閥泵、旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半)時(shí)，需要更換新油。方法是:擰下放油螺栓，將舊油放掉，然后啟動(dòng)泵幾秒鐘，使泵內(nèi)舊油全排出。擰回注油螺栓，并添加新油至額定量(用油鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)要打開(kāi)油蓋，用布將盒內(nèi)污垢擦拭干凈。

3.如果擴(kuò)散泵已連續(xù)使用6個(gè)月以上，則抽氣速度明顯變慢，或操作不當(dāng)。充入大氣，拆下連接水管，卸下電爐板，旋出一次噴嘴。先用汽油清洗泵腔和泵襯，再用洗衣粉加水沖洗。然后，用清水清洗。水蒸發(fā)干后，裝上泵膽，加新的擴(kuò)散泵油，放回體內(nèi)，接好水管。重啟機(jī)器前，注意泄漏檢測(cè)。

方法是:啟動(dòng)維護(hù)泵，關(guān)閉門(mén)，幾分鐘后，觀察擴(kuò)散泵的局部真空度是否達(dá)到6X10 Pa，否則需要檢漏。檢查密封橡膠圈是否安裝在接頭處或密封圈是否被壓碎。排除漏氣隱患后才能加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。