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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務(wù)商

致力于高端涂層技術(shù)的研究提供成套解決方案

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真空PVD鍍膜涂層工藝的基本步驟

時(shí)間:2022-09-12    點(diǎn)擊數(shù):
一、前處理工藝

褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾

二、鍍膜工藝

抽真空、加熱烘烤、漏率測(cè)試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐

三、后處理工藝

清洗:確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔,越新鮮的表面,越能保證鍍膜質(zhì)量;

抽真空:將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走

加熱烘烤:爐體和工件同時(shí)加熱,加速殘余氣體的釋放

壓升率測(cè)試:測(cè)試爐體的漏氣率和放氣率

轟擊清洗:去除工件表面的雜志,露出新鮮表面

鍍膜:沉積膜層

冷卻:避免工件氧化變色

為什么要進(jìn)行冷卻?

鍍膜工藝完成后,真空室內(nèi)溫度高達(dá)500℃,如果不冷卻就放氣,沒(méi)有被鍍上膜的高溫工件表面會(huì)因?yàn)榕c空氣反應(yīng)氧化變成藍(lán)色。

冷卻如何進(jìn)行?

1. 高閥關(guān)閉,真空計(jì)關(guān)閉,真空室與泵組隔離;

2. 當(dāng)操作人員按下N2 vent按鈕,預(yù)先接好的氮?dú)鈺?huì)通過(guò)N2充氣閥充入真空室,當(dāng)真空室內(nèi)的壓力達(dá)到壓力開(kāi)關(guān)預(yù)設(shè)的壓力時(shí),N2充氣閥關(guān)閉。

3. 真空室內(nèi)充入了大量N2,真空度很低,更加有利于熱傳導(dǎo),所以降溫速度比不充冷卻N2時(shí)快很多,縮短冷卻時(shí)間,提高生產(chǎn)效率,實(shí)際冷卻時(shí)間可由原來(lái)的90分鐘縮短為60分鐘。

4. 由于氦氣的熱傳導(dǎo)率更高,所以充入冷卻氦氣比氮?dú)饨禍厮俣雀欤浅杀疽哺摺鸿T模具涂層

5. 國(guó)外設(shè)備快速冷卻程序,通過(guò)冷卻氣體的循環(huán)冷卻,能縮短冷卻時(shí)間50%。

為什么要進(jìn)行壓升率測(cè)試?

真空環(huán)境條件是影響最終涂層質(zhì)量最重要的因素。鍍膜前,必須進(jìn)行壓升率測(cè)試,以保證真空環(huán)境條件滿足鍍膜標(biāo)準(zhǔn)。

怎樣進(jìn)行壓升率測(cè)試?

在我們的自動(dòng)鍍膜工藝中,壓升率測(cè)試是自動(dòng)進(jìn)行。

當(dāng)真空室內(nèi)真空度達(dá)到工藝設(shè)定的本底真空后,進(jìn)入壓升率測(cè)試步驟。

系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉高閥,此時(shí)真空室與泵組隔離,真空室內(nèi)壓力會(huì)升高。在一定時(shí)間內(nèi)(一般1分鐘),如果壓力不超過(guò)設(shè)定的報(bào)警值,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)進(jìn)行下一步程序,進(jìn)入鍍膜步驟。如果壓力超過(guò)設(shè)定的報(bào)警值,系統(tǒng)會(huì)有報(bào)警提示,此時(shí),操作人員應(yīng)按照操作流程,再次進(jìn)行抽真空和加熱烘烤,然后重復(fù)進(jìn)行壓升率測(cè)試,直至壓升率滿足鍍膜條件。

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