均勻性是磁控濺射真空涂層機(jī)鍍膜的重要指標(biāo)。因此，研究影響磁控濺射均勻性的因素，可以好地實(shí)現(xiàn)磁控濺射均勻涂層。簡單來說，磁控濺射就是在正交電磁場中，封閉的磁場束縛電子圍繞靶面進(jìn)行螺旋運(yùn)動，在運(yùn)動過程中不斷撞擊工作氣體，氬氣電離出大量氬離子。氬離子在電場作用下加速對靶材的轟擊，濺射靶原子離子(或分子)沉積在基板上形成薄膜。因此，要實(shí)現(xiàn)均勻涂層，需要均勻?yàn)R射靶原子離子（或分子），這就要求氬離子均勻轟擊靶材。

      由于氬離子在電場作用下加速對靶材的轟擊，因此要求電場均勻。氬離子來源于受封閉磁場束縛的電子在運(yùn)動中不斷撞擊，這就要求磁場和氬分布均勻。但在實(shí)際的磁控濺射裝置中，這些因素很難全均勻，因此需要研究其不均勻性對成膜均勻性的影響。事實(shí)上，影響成膜均勻性的主要因素是磁場的均勻性和工作氣體的均勻性。大磁場位置膜厚，相反膜薄，磁場方向也是影響均勻性的重要因素。在氣壓方面，在一定的氣壓條件下，氣壓較大的位置膜厚，反之亦然。