1、采用各種能源方式轉(zhuǎn)換成熱能， 加熱膜材使之蒸發(fā)或升華， 成為具有一定能星 ( 0霉 1/'"->J0 . 3 e V) 的氣態(tài)粒子（原子、分子和原子團）；

2 、離開膜材表面，具 有相當(dāng)運動速度的氣態(tài)粒子以基本上無碰撞的直線飛行輸運到基體表面；

3、到達基體表面的氣態(tài)粒子凝聚形核后生長成固相薄膜；

4、組 成 薄 膜 的 原子重組排列或產(chǎn)生化學(xué)鍵合；